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Processo de deposição por PECVD influência dos íons

A R Cardoso Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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