Otimização das propriedades estruturais de filmes de nitreto de alumínio visando sua aplicação como material piezoelétrico.
Cunha Junior, Rubens Martins
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2015-06-01
Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.
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