Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica
Marcelo de Assumpção Pereira da Silva Y V Nastaushev; Pierre Basmaji; J C Rossi; M A Aegerter; Congresso Brasileiro de Ceramica (38. 1994 Blumenau); Encontro de Mineradores e Consumidores (2. 1994 Blumenau)
Anais São Paulo : Associacao Brasileira de Ceramica, 1994São Paulo Associacao Brasileira de Ceramica 1994
Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos (PROD003200 ) e outros locais(Acessar)
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