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Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009

Achenbach, Sven ; Klymyshyn, David ; Michel, Bernd

Microsystem technologies, 2010-08, Vol.16 (8-9), p.1285-1285 [Periódico revisado por pares]

Berlin/Heidelberg: Springer-Verlag

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Título:
Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009
Autor: Achenbach, Sven ; Klymyshyn, David ; Michel, Bernd
Assuntos: Applied sciences ; Editorial ; Electronics ; Electronics and Microelectronics ; Engineering ; Exact sciences and technology ; Instrumentation ; Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy ; Mechanical Engineering ; Mechanical engineering. Machine design ; Mechanical instruments, equipment and techniques ; Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) ; Micromechanical devices and systems ; Nanotechnology ; Physics ; Precision engineering, watch making ; Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
É parte de: Microsystem technologies, 2010-08, Vol.16 (8-9), p.1285-1285
Editor: Berlin/Heidelberg: Springer-Verlag
Idioma: Inglês

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