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Plasma-immersion ion implantation for diffusive treatment

Möller, Wolfhard ; Parascandola, Stefano ; Kruse, Olaf ; Günzel, Reinhard ; Richter, Edgar

Surface & coatings technology, 1999-09, Vol.116-119, p.1-10 [Periódico revisado por pares]

Elsevier B.V

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