Tantalum oxynitride thin films: Mechanical properties and wear behavior dependence on growth conditions
Cristea, D. ; Crisan, A. ; Munteanu, D. ; Apreutesei, M. ; Costa, M.F. ; Cunha, L.
Surface & coatings technology, 2014-11, Vol.258, p.587-596 [Periódico revisado por pares]Amsterdam: Elsevier B.V
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