1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Ermakova, Evgeniya ; Sysoev, Sergey ; Tsyrendorzhieva, Irina ; Mareev, Alexander ; Maslova, Olga ; Shayapov, Vladimir ; Maksimovskiy, Eugene ; Yushina, Irina ; Kosinova, Marina
Coatings (Basel), 2023-06, Vol.13 (6), p.1045 [Periódico revisado por pares]Basel: MDPI AG
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