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Efeitos topográficos em espectros RBS
Silva, Alessandro Alves Da
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física 2006-11-24
Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.
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Título:
Efeitos topográficos em espectros RBS
Autor:
Silva, Alessandro Alves Da
Orientador:
Tabacniks, Manfredo Harri
Assuntos:
Sombreamento
;
Física Experimental
;
Simulação
;
Rbs
;
Retroespalhamento
;
Rugosidade Superficial
;
Simulation
;
Shadowing
;
Roughness
;
Experimental
Physics
;
Backscattering
Notas:
Tese (Doutorado)
Descrição:
A medida da rugosidade de uma superfície costuma produzir resultados que dependem da metodologia empregada. A microscopia eletrônica de varredura, SEM, a microscopia de força atômica, AFM e a perfilometria são algumas das técnicas costumeiramente empregadas na caracterização de superfícies rugosas. Esse trabalho explora a e desenvolve o uso da espectrometria de retroespalhamento Rutherford, RBS, para medir e quantificar a rugosidade de uma superfície. Quatro diferentes amostras com rugosidade periódica e controlada (duas retangulares e duas senoidais) com razão de aspecto suficientemente grande que produzam efeitos mensuráveis por RBS, foram produzidas por interferometria óptica. Os espectros RBS experimentais foram convertidos em rugosidade rms e comparados com resultados de SEM e AFM. Medir rugosidade através de RBS permite inspecionar uma área (da ordem de alguns mm2) e profundidades muito maiores que as acessíveis por AFM, apesar de ainda limitados pela resolução em energia intrínseca da metodologia RBS.
DOI:
10.11606/T.43.2006.tde-09042008-142058
Editor:
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física
Data de criação/publicação:
2006-11-24
Formato:
Adobe PDF
Idioma:
Português
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