Estudo comparativo da implantacao ionica de potassio e fosforo em silicio amorfo para utilizacao em contatos injetores

Fernando Josepetti Fonseca 1959- Adnei Melges de Andrade 1943-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)

Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992

São Paulo Sbmicro/Epusp 1992

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