Desenvolvimento de um sistema integrado multicamara para a deposicao de 'SI''O IND.2' dopados ou nao com boro e / ou fosforo por r / pecvd

Maria Lucia Pereira da Silva 1957- Newton Yoshiyuki Shibata; Adolfo Tsuyama Escote; W T Matsumura; Elisabeth de Oliveira; Jacobus Willibrordus Swart 1950-; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)

Resumos Campinas : Unicamp, 1992

Campinas Unicamp 1992

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