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Plasmas frios aspectos de aplicacoes tecnologicas

H. S. Maciel Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)

Resumos Campinas : Unicamp, 1992

Campinas Unicamp 1992

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Título:
Plasmas frios aspectos de aplicacoes tecnologicas
Autor: H. S. Maciel
Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)
Assuntos: SEMICONDUTORES; PLASMA (MICROELETRÔNICA)
É parte de: Resumos Campinas : Unicamp, 1992
Editor: Campinas Unicamp
Data de criação/publicação: 1992
Formato: p.64.
Idioma: Português

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