Building of a pecvd reactor details of the architecture and its influence on the characteristics of the a-'SI' : h films
J P Bottecchia Adnei Melges de Andrade 1943-; Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (16. 1995 Brasilia)
Resumos Brasilia : Sbv/Unicamp/Unb, 1995Brasília Sbv/Unicamp/Unb 1995
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