Estudo de materiais piezoelétricos da família III-V obtidos por sputtering reativo visando sua aplicação em sensores e MEMS.
Pelegrini, Marcus Vinícius
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2010-08-18
Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.