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Aspects of metal etching for interconnect technologies

Patrick Bernard Verdonck 1958- H Meynen; Brazilian Microelectronics School (3rd 1994 Campinas)

Advanced Metallization for Vlsi/ulsi Applications: Proceedings Campinas : Sbmicro/Unicamp, 1994

Campinas Sbmicro/Unicamp 1994

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Título:
Aspects of metal etching for interconnect technologies
Autor: Patrick Bernard Verdonck 1958-
H Meynen; Brazilian Microelectronics School (3rd 1994 Campinas)
Assuntos: CIRCUITOS INTEGRADOS
É parte de: Advanced Metallization for Vlsi/ulsi Applications: Proceedings Campinas : Sbmicro/Unicamp, 1994
Editor: Campinas Sbmicro/Unicamp
Data de criação/publicação: 1994
Formato: p.16.1-28.
Idioma: Inglês

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