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Porous silicon sacrifical layers applied on micromechanical structures fabrication

Michel Oliveira da Silva Dantas Elisabete Galeazzo 1964-; Henrique Estanislau Maldonado Peres; Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-

Morimoto, N.I.; Ribas, R.P.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002

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Título:
Porous silicon sacrifical layers applied on micromechanical structures fabrication
Autor: Michel Oliveira da Silva Dantas
Elisabete Galeazzo 1964-; Henrique Estanislau Maldonado Peres; Francisco Javier Ramírez Fernandez 1944-
Assuntos: MICROELETRÔNICA
É parte de: Morimoto, N.I.; Ribas, R.P.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002
Títulos relacionados: Série:Proceedings, v. 2002-8 / 17. International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002, Porto Alegre, 2002
Editor: Pennington The Electrochemical Society
Data de criação/publicação: 2002
Formato: p. 125-132.
Idioma: Inglês

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