Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'

R K Yamamoto H. S Maciel; Congresso de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia (13. 1992 Campinas); Encontro Latino-Americano sobre Plasmas Frios (1. 1992 Campinas)

Resumos Campinas : Unicamp, 1992

Campinas Unicamp 1992

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