Caracterização de filmes finos de nitreto de índio formados por deposição assistida por feixe de íons

K C Lopes Masao Matsuoka 1949-; J C R Mittani; L H Avanci; Jose Fernando Diniz Chubaci; S Sucasaire; Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori; J R Leite; J A Freitas

Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 25, n. 1, p. 55-58, 2006

São Carlos 2006

Acesso online