Filmes finos de nitreto de carbono e nitreto de boro preparados com método de deposição assistida por feixe de íons

Masao Matsuoka 1949- W Sucasaire; K C Lopes; M Pontes; Jose Fernando Diniz Chubaci; L Avanci; J C Mittani

Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 25, n. 1, p. 105-110, 2006

São Carlos 2006

Acesso online