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Effects of heavy boron doping upon oxygen precipitation in czochralski silicon

S Hahn F A Ponce; W A Tiller; Vivian Stojanoff; Douglas Anderson Pereira Bulla; W E Castro Junior

v.64, n.9 , p.4454-65, 1988 Journal of Applied Physics

1988

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Título:
Effects of heavy boron doping upon oxygen precipitation in czochralski silicon
Autor: S Hahn
F A Ponce; W A Tiller; Vivian Stojanoff; Douglas Anderson Pereira Bulla; W E Castro Junior
Assuntos: SILÍCIO
É parte de: v.64, n.9 , p.4454-65, 1988 Journal of Applied Physics
Data de criação/publicação: 1988
Formato: p.4454-65.
Idioma: Português

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