Idioma:

Diffractive phase-shift lithography photomask operating in proximity printing mode

Giuseppe Antonio Cirino Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Lucila Cescato; Luiz Gonçalves Neto

Optics Express Washington v. 18, n. 16, p. 16387-16405, Aug. 2010

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Título:
Diffractive phase-shift lithography photomask operating in proximity printing mode
Autor: Giuseppe Antonio Cirino
Ronaldo Domingues Mansano 1964-; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Lucila Cescato; Luiz Gonçalves Neto
Assuntos: HOLOGRAMAS; ÓPTICA
É parte de: Optics Express Washington v. 18, n. 16, p. 16387-16405, Aug. 2010
Notas: Disponível em: <http://dx.doi.org/10.1364/OE.18.016387>. Acesso em: 16 set. 2010
Editor: Washington
Data de criação/publicação: 2010
Formato: p. 16387-16405.
Idioma: Inglês

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