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Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics
Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics
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Nanolithography and Patterning Techniques in Microelectronics

D Bucknall David G Bucknall

Cambridge Woodhead Publishing 2005

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

2
Semiconductor lithography principles, practices, and materials
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Livro
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Semiconductor lithography principles, practices, and materials

Wayne M. Moreau

New York Plenum Press c1988

Localização: EPELM - Esc. Politécnica-Bib Eng Elet., Mec. e Naval    (621.3.032 M813s )(Acessar)

3
Microcircuit Engineering 89 proceedings of the International Conference on Microlithography, September 26-28, 1989, Cambridge, England
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Livro
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Microcircuit Engineering 89 proceedings of the International Conference on Microlithography, September 26-28, 1989, Cambridge, England

Microcircuit Engineering 89 (1989 Cambridge, England) H Ahmed

Amsterdam Elsevier New York Tokyo Ohmsha New York, N.Y., U.S.A. Distributors for the United States and Canada, Elsevier Science Pub. Co. c1990

Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar)

4
Etching in microsystem technology
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Livro
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Etching in microsystem technology

J. M. Köhler (J. Michael), 1956-

Weinheim ; Wiley-VCH, New York c1999

Localização: IF - Instituto de Física    (621.3815 K79e LABFF )(Acessar)

5
Microlithography high integration in microelectronics : proceedings of the First Workshop, Rio de Janeiro, Brazil, Aug 28-Sept 1, 1989
Material Type:
Livro
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Microlithography high integration in microelectronics : proceedings of the First Workshop, Rio de Janeiro, Brazil, Aug 28-Sept 1, 1989

Workshop on "Microlithography : High Integration in Microelectronics" (1st 1989 Rio de Janeiro) Aldo Craievich; Gerardo Gerson Bezerra de Souza; Vitor Baranauskas

Singapore World Scientific Teaneck, NJ c1990

Localização: EEL - Engenharia de Materiais     e outros locais(Acessar)

6
Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications
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Livro
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Handbook of VLSI microlithography principles, technology, and applications

William B Glendinning; John N Helbert

Park Ridge, N.J., U.S.A. Noyes Publications c1991

Localização: EPELM - Esc. Politécnica-Bib Eng Elet., Mec. e Naval    (621.3.049.771.15 G485h ) e outros locais(Acessar)

7
Alternative lithography unleashing the potentials of nanotechnology
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Livro
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Alternative lithography unleashing the potentials of nanotechnology

C. M Sotomayor Torres

New York Kluwer Academic/Plenum c2003

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (621.3.049.77 AL79 )(Acessar)

8
Laser microfabrication thin film processes and lithography
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Livro
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Laser microfabrication thin film processes and lithography

Daniel J Ehrlich; Jeffrey Y Tsao

Boston Academic Press c1989

Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos    (535.581 E33L )(Acessar)

9
Materials for microlithography radiation-sensitive polymers
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Livro
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Materials for microlithography radiation-sensitive polymers

L. F Thompson 1944-; C. G Willson 1939- (C. Grant); J. M. J Fréchet; American Chemical Society Division of Polymeric Materials: Science and Engineering; American Chemical Society Division of Polymer Chemistry; American Chemical Society Meeting (1984 Saint Louis, Mo.)

Washington, D.C. The Society 1984

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (621.3.049.75 T375m )(Acessar)

10
Introduction to microlithography theory, materials, and processing
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Livro
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Introduction to microlithography theory, materials, and processing

L. F Thompson 1944-; C. G Willson 1939- (C. Grant); M. J Bowden 1943-; American Chemical Society Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry; American Chemical Society Meeting (1983 Seattle, Wash.)

Washington, D.C. The Society 1983

Localização: EPELM - Esc. Politécnica-Bib Eng Elet., Mec. e Naval    (621.3.049.75 T375i )(Acessar)

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