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Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition
Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition
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Ata de Congresso 		Adicionar ao Meu Espaço

Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition

Tachi, Kiichi ; Iwai, H. ; Hattori, Takeo ; Sugii, Nobuyuki ; Tsutsui, Kazuo ; Ahemt, Parhat ; Kakushima, Kuniyuki

ECS transactions, 2006, Vol.3 (3), p.425-434

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Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition
Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition
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Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

Effect of Oxygen for Ultra-Thin La2O3 Film Deposition

Tachi, Kiichi ; Iwai, H. ; Hattori, Takeo ; Sugii, Nobuyuki ; Tsutsui, Kazuo ; Ahemt, Parhat ; Kakushima, Kuniyuki

Meeting abstracts (Electrochemical Society), 2006-06, Vol.MA2006-02 (22), p.1128-1128

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CVD法によるCeOX絶縁膜の作製と特性評価
CVD法によるCeOX絶縁膜の作製と特性評価
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Artigo 		Adicionar ao Meu Espaço

CVD法によるCeOX絶縁膜の作製と特性評価

幸田, みゆき ; 小澤, 健児 ; 角嶋, 邦之 ; 岩井, 洋 ; 卜部, 友二 ; 安田, 哲二

応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2010/08/30, pp.2495-2495

公益社団法人 応用物理学会

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