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CMOS BEOL-embedded z-axis accelerometerMichalik, P ; Sánchez-Chiva, J.M ; Fernández, D ; Madrenas, JElectronics letters, 2015-05, Vol.51 (11), p.865-867 [Periódico revisado por pares]The Institution of Engineering and TechnologyTexto completo disponível |
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