Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Plasma etchingPatrick Bernard Verdonck 1958- Oficina de Microeletronica (5. 1996 Campinas)Notas de Aula Campinas : Unicamp, 1996Campinas Unicamp 1996Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Relatório Técnico
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Aluminium etching with CC14-N2 plasmaAngela Makie Nakazawa Patrick Bernard Verdonck 1958-São Paulo EPUSP 1997Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Relatório Técnico
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O uso de resistes amplificados quimicamente e de sililação em litografia por feixe de elétronsAntonio Carlos Seabra 1961- Patrick Bernard Verdonck 1958-São Paulo EPUSP 1997Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Livro
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Characterization of SF6 plasmas by RF electrical measurementsMarcelo Bento Pisani Patrick Bernard Verdonck 1958-Morimoto, N.I.; Ribas, P.R.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002Pennington The Electrochemical Society 2002Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Aspects of metal etching for interconnect technologiesPatrick Bernard Verdonck 1958- H Meynen; Brazilian Microelectronics School (3rd 1994 Campinas)Advanced Metallization for Vlsi/ulsi Applications: Proceedings Campinas : Sbmicro/Unicamp, 1994Campinas Sbmicro/Unicamp 1994Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Plasmas fluorados com acoplamento indutivo.Rodrigues, Bruno Da SilvaBiblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2006-02-06Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos. |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Corrosão de alumínio por plasma.Nakazawa, Angela MakieBiblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 1997-04-14Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos. |
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Material Type: Tese (Outras)
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Estudo sobre danos induzidos por plasmaPatrick Bernard Verdonck 1958-1998Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FT-1155 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Relatório Técnico
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Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmasRonaldo Domingues Mansano 1964- Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago MacielSão Paulo EPUSP 1998Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Oxygen plasma etching mechanisms of resistPatrick Bernard Verdonck 1958- International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO (19. 2004 Porto Galinhas)Santos, E. J. B.; Ribas, R. P.; Swart, J. eds Microelectronics technology and devices SBMicro 2004. Proceedings, v. 2004-03 Pennington : The Electrochemical Society, 2004Pennington The Electrochemical Society 2004Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |