Result Number | Material Type | Add to My Shelf Action | Record Details and Options |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Fabrication of transparent conductive thin films based on multi-walled carbon nanotubesIgor Yamamoto Abe Inés Pereyra 1947-; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices (27th 2012 Brasilia)Microelectronics technology and devices, SBMicro Pennington: Electrochemical Society, 2012Pennington 2012Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Síntese de nanotubos de carbono pela técnica de deposição química a vaporAbê, Igor YamamotoBiblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2014-07-31Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos. |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Deposição e caracterização de filmes de 'SI''O IND.2' crescidos pela técnica de pecvd a baixa temperaturaMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-1996Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FD-1924 ) e outros locais(Acessar) |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Control of the refractive index in PECVD SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; International Conference on Microelectronics and Packaging (15. 2000 Manaus)SBMicro 2000 : proceedings Manaus : SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP, 2000Manaus SBMicro/UA/UFRGS/UNICAMP/USP 2000Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Optical waveguides of PECVD silicon oxynitride filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu Fantini; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro : SBPMat, 2002Rio de Janeiro SBPMat 2002Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Tese de Doutorado
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Estudo e otimização das propriedades estruturais, ópticas e elétricas de películas de SiOxNy depositadas por PECVD para aplicações em dispositivos MOS, microestruturas e guias de ondaMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-2000Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central (FT-1509 )(Acessar) |
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Material Type: Artigo
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On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Acesso online |
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Material Type: Artigo
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On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy filmsMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Wanderla Luis Scopel; Márcia Carvalho de Abreu FantiniThin Solid Films Lausanne v. 402, n. 1-2, p. 154-161, 2002Lausanne 2002Acesso online |
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Material Type: Artigo de Congresso
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Influence of deposition parameters at the structural characteristics of silicon dioxide deposited by pecvd at low temperaturesMarco Isaías Alayo Chávez 1971- Inés Pereyra 1947-; Conference of the Brazilian Microeletronics Society (11th 1996 Águas de Lindóia)Proceedings São Paulo : Sbmicro, 1996São Paulo Sbmicro 1996Item não circula. Consulte sua biblioteca.(Acessar) |
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Material Type: Dissertação de Mestrado
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Estudo e fabricação de capacitores MOS com camada isolante de SiOxNy depositada por PECVD.Albertin, Katia FranklinBiblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2003-04-03Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos. |